2025-04-20 05:09:06
氦質(zhì)譜檢漏儀定期保養(yǎng)該怎么做?1.對(duì)氦質(zhì)譜檢漏儀真空系統(tǒng)進(jìn)行保養(yǎng)時(shí),由于常見氦質(zhì)譜檢漏儀的真空系統(tǒng)部分由分子泵、前級(jí)機(jī)械泵組成,因此在常規(guī)檢測(cè)時(shí)通常由前級(jí)機(jī)械泵對(duì)被檢件預(yù)抽真空,當(dāng)真空度達(dá)到規(guī)定壓力后,再進(jìn)入真空系統(tǒng)部分;被檢件在檢測(cè)前會(huì)被要求進(jìn)行清潔前處理,以防止粉塵、顆粒物等污染物進(jìn)入真空系統(tǒng)。否則將直接污染真空系統(tǒng),甚至造成真空泵損壞。因此,對(duì)被檢件的前處理以及對(duì)設(shè)備自身的保養(yǎng)清理十分重要。2.除了上述氦質(zhì)譜檢漏儀真空系統(tǒng)需要保養(yǎng)之外,還需要進(jìn)行前級(jí)真空泵的定期換油及深度保養(yǎng),以及電磁閥組的超聲清洗,此外質(zhì)譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵也建議定期進(jìn)行保養(yǎng)維護(hù),避免因設(shè)備保養(yǎng)不及時(shí)導(dǎo)致設(shè)備使用壽命縮短。氦檢儀普遍應(yīng)用于壓力容器、航空航天、原子能、發(fā)電廠、制冷工業(yè)等領(lǐng)域。浙江國(guó)產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀售后服務(wù)
氦檢儀的撿漏方法有哪些?背壓法(壓氦法)真空模式。工件先在壓氦罐中打入高壓氦氣,迫使氦氣進(jìn)入泄漏工件,再放入檢漏罐中檢測(cè)是否有氦氣漏出。可根據(jù)工件大小定制罐體大小。可檢測(cè)工件的整體漏點(diǎn)。檢測(cè)精度較高。適用行業(yè):電子元器件,電子封裝等。氦質(zhì)譜檢漏背壓法優(yōu)點(diǎn):檢測(cè)靈敏度高;可以進(jìn)行批量化檢測(cè);一般小型電子器件宜采用這種檢漏方法。首先將儀器調(diào)整好,再將器件放入加壓罐內(nèi)壓入氦氣,氦氣進(jìn)入有漏孔的器件內(nèi)部,無漏孔的器件只是表面吸咐氦氣。器件加壓壓力和時(shí)間根據(jù)GB2423,2328文件而定,器件從加壓罐中取出后將表面吸咐的氦氣吹掉再放入檢漏夾具中抽空,待真空抽至設(shè)定值后自動(dòng)將夾具連至儀器的測(cè)量系統(tǒng)。這時(shí)壓入存在漏孔器件內(nèi)部的氦氣泄漏出來被檢測(cè),其漏率在漏率表上顯示出來。一般壓氦法檢漏時(shí)采用排除法。在夾具中放一定數(shù)量的器件,這一批的總漏率沒超過報(bào)廢預(yù)定值,說明這一批合格;總漏率超過報(bào)廢預(yù)定值可以取出一半,剩下的一半繼續(xù)檢漏,這一半合格說明有漏的器件在取出的那一半中,依此檢漏直至檢出有漏孔的器件。杭州移動(dòng)式氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項(xiàng)敏度、反應(yīng)時(shí)間、消除時(shí)間、極限真空度及儀器入口處抽速是評(píng)價(jià)氦質(zhì)譜檢漏儀的主要性能指標(biāo)。
氦檢儀進(jìn)展的集中體現(xiàn)在如下幾個(gè)方面:(1)便攜式:較近各國(guó)推出的小型便攜式氦檢儀不只靈敏度高,而且便于攜帶,給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。(2)高壓強(qiáng)下檢漏:檢漏口壓強(qiáng)可高達(dá)數(shù)百帕左右,對(duì)檢測(cè)大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。(3)自動(dòng)化程度高:自動(dòng)校準(zhǔn)氦峰,自動(dòng)調(diào)節(jié)零點(diǎn),量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換,自動(dòng)數(shù)據(jù)處理,可外接打印機(jī)。整機(jī)由微機(jī)控制,菜單選擇功能,一個(gè)按鈕即可完成一次的全檢漏過程。(4)全無油的干式檢漏:有些**生產(chǎn)的氦檢儀,可采用干式泵,達(dá)到無油蒸氣的效果,為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏,提供了有利條件。(5)檢漏范圍寬:現(xiàn)今生產(chǎn)的四極氦檢儀,質(zhì)量范圍很寬,不只可檢測(cè)氦氣,而且能檢測(cè)其它氣體。
氦檢儀開機(jī)如何操作?1、將總電源轉(zhuǎn)到“前級(jí)泵”,低真空表頭指示值應(yīng)從左向右逐漸上升至2~15Pa,開抽速閥,開漏孔開關(guān),表頭示值也應(yīng)能抽到原來位置,再關(guān)抽速閥。2、將總電源轉(zhuǎn)到“擴(kuò)散泵”,燈亮,擴(kuò)散泵開始加熱。3、等20分鐘左右,擴(kuò)散泵排氣管應(yīng)熱,開冷規(guī)開關(guān),“質(zhì)譜室壓強(qiáng)”表頭指針應(yīng)從左打向右(即冷規(guī)已激發(fā))再關(guān)冷規(guī)。4、開抽速閥,過幾分鐘后開冷規(guī),表頭指針應(yīng)從左打向右,再?gòu)挠蚁蜃笾饾u上升(真空示值在1×10-2Pa以下請(qǐng)不要長(zhǎng)時(shí)間開冷規(guī),可等一會(huì)兒再開),當(dāng)真空示值超過1×10-2Pa后,可啟動(dòng)燈絲,燈亮,“發(fā)射電流”有指示,開、關(guān)漏孔檢查氦檢儀靈敏度(可調(diào)加速電壓使信號(hào)指示Zda),靈敏度達(dá)要求后關(guān)漏孔。將工件用外接泵抽上真空后,開節(jié)流閥至冷規(guī)指示值為5×10-3~1×10-2Pa之間,對(duì)工件噴氦檢漏。檢漏完,關(guān)節(jié)流閥。氦質(zhì)譜檢漏儀的漏孔漏率是指一個(gè)大氣壓的干燥空氣通過漏孔漏向真空側(cè)的漏氣速率。
氮質(zhì)譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器,它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點(diǎn),是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高,用得比較多的檢漏儀器。適用于超高真空系統(tǒng)、零部件及元器件的檢漏。氦質(zhì)譜檢漏儀改變了常規(guī)型儀器的結(jié)構(gòu)布局,被檢件置于檢漏儀主抽泵的前級(jí)部位,因此具有可在高壓力下檢漏、不用液氮及質(zhì)譜室污染小等特點(diǎn).適用于大漏率、真空衛(wèi)生較差的真空系統(tǒng)的檢漏,其靈敏度可達(dá)10-12Pam3/s。氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。在結(jié)構(gòu)組成上,大部分氦檢儀就是由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)以及電氣系統(tǒng)3部分組成的;常州無損氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項(xiàng)
氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種,一種為常規(guī)檢漏,另一種為逆擴(kuò)散檢漏。浙江國(guó)產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀售后服務(wù)
氦檢儀的工作原理:氦檢儀先在質(zhì)譜室中將采集的被測(cè)氣體電離,再利用電磁場(chǎng)將不同荷質(zhì)比的離子加以分離檢測(cè),從中檢測(cè)出事先安排的示蹤氦離子,主要由三大組件構(gòu)成:真空系統(tǒng)、質(zhì)譜室和電子學(xué)控制單元。氦檢儀內(nèi)部配有一臺(tái)旋片式真空泵,用以維持儀器內(nèi)部的高真空。質(zhì)譜室是氦檢儀的重點(diǎn)部分,它包括離子源、聚焦、質(zhì)量分析器和測(cè)量部分。質(zhì)譜室入口連接在渦輪分子泵的前級(jí)真空部分,分子泵對(duì)不同的氣體具有不同的壓縮比特性,氦氣的壓縮比很小,可以逆著分子泵的抽氣方向流動(dòng)進(jìn)入質(zhì)譜室。在質(zhì)譜室中氦氣被電離,氦離子通過質(zhì)量分析器的篩選到達(dá)收集極,產(chǎn)生一個(gè)正比于離子數(shù)量的電流信號(hào),該信號(hào)經(jīng)過放大和處理即為泄漏率。浙江國(guó)產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀售后服務(wù)